电子光学 束流传输理论 低能电子 高能粒子 细束和弱流 宽束和强流 束流传输元件和 对应的传输矩阵 电子在轴对称 宽束和强流 场中的运动 电子光学 非轴对称电 组合系统设计 轴对称电子透镜 子光学器件
低能电子 高能粒子 细束和弱流 宽束和强流 电子在轴对称 场中的运动 轴对称电子透镜 非轴对称电 子光学器件 宽束和强流 电子光学 电子光学 束流传输理论 束流传输元件和 对应的传输矩阵 组合系统设计
第5章宽束和强流电子学简介 ·5.1宽电子束及聚焦成像 ·5.2强流中的空间电荷效应 ·5.3强流电子束的成形和维持 3
3 第5章 宽束和强流电子学简介 • 5.1 宽电子束及聚焦成像 • 5.2 强流中的空间电荷效应 • 5.3 强流电子束的成形和维持
回顾 轴对称透镜静电透镜 圆孔 浸没 类别： 膘片 透镜 (及变种，如)单透镜（及变种，如） 浸没 物镜 结构： 可能的 轴上 (及变种，如：) 场分布 a 等 等 等
4 回顾
回顾 轴对称透镜 磁透镜 类别： 长磁透镜 空心线圈透镜短磁透镜强短磁透镜永磁透镜 极 靴 结构： 可能的 轴上 场分布 B.() 5
5 回顾
回顾 平面对称偏转系统 以u代 单位多用 m1.方程可 △u 1∂V 当u=x时， 。偏转出口 2Vaxi Zo ZL 屏坐标2 1av 当u=y时 2vay; 对磁偏转 G,=一B。对低能电子为 e 盛环 行偏转线圈 6 场偏转线圈
6 回顾 z0 zL zs L Δu 屏坐标 偏转出口 Ls