第4章非轴对称电子光学器件 ·有关像差的基本概念 ·4.1偏转系统 ·4.2四极透镜 ·4.3静电柱面透镜 2
2 第4章 非轴对称电子光学器件 • 有关像差的基本概念 • 4.1 偏转系统 • 4.2 四极透镜 • 4.3 静电柱面透镜
回顾 轴对称透镜静电透镜 圆孔 浸没 浸没 类别： 膜片 透镜 及变种，如)单透镜（及变种，如）物镜 结构： 可能的 1 轴上 场分布 等 等
3 回顾
回顾 轴对称透镜磁透镜 类别： 长磁透镜 空心线圈透镜短磁透镜强短磁透镜永磁透镜 结构： 铁 可能的 轴上 场分布 B.(
4 回顾
轴对称透镜 回顾 径向轨迹方程 ('+子(W+2B)r=0 2m 在电子光学中，对于静电透镜(B.=0),则有 六≈为： f。=VVf fi=Vif" 在静电透镜中定义函数R(),R=Vr“简正焦距”F =0长a: 而对于磁透镜（设V=常数），则有 子≈Q:=8Bd:。=f=f=Wf 然后根据轴对称透镜的电磁场分布求的其焦距
5 回顾 然后根据轴对称透镜的电磁场分布求的其焦距
有关像差的基本概念（简单介绍） 前两章介绍了高斯轨迹方程和满足此类方程的粒子轨迹的 “理想”成像特性，结果堪称美妙.但实际生活往往与理想存在差 3.1像差概述此种差异. 像差即指任何不满足理想成像条件的因素造成的差异，或曰 实际轨迹与高斯轨迹的差异.此词亦来自光学，特指成像时“光线” (轨迹)与像平面的交点和高斯像点之差.显然，此种差异可能造 成：图像模糊— 这种交点不是一点，而是在理想像点四周均布的 许多点，又称分辨率下降；形状失真—许多交点向同一方向偏离 理想像点，又称畸变 按原因分，像差(Aberrations)可分为5类，下面依次列出各 类的中英文名称、所不满足的基本假设和可能的造成该种像差“凸 显”的直接原因：
6 有关像差的基本概念(简单介绍)